日常保養

• 清潔爐體

• 每次使用后，用軟布或吸塵器清理爐膛內的粉塵、金屬殘留物（避免使用水或腐蝕性清潔劑）。

• 檢查爐門密封圈（如氟橡膠或硅膠圈），用酒精擦拭并涂抹少量真空脂（如Dow Corning高真空脂），防止老化。

• 檢查冷卻系統

• 監測冷卻水壓力（通常需保持0.2~0.4 MPa）和流量，確保無泄漏。

• 定期檢查水質，若為循環水系統，每月更換或過濾一次，防止水垢堵塞管道（建議使用去離子水）。

• 真空系統維護

• 停機后關閉真空泵閥門，防止油倒吸。

• 若使用擴散泵，預熱和冷卻需按規程操作，避免油氧化

 定期保養（每月或每50小時）

• 電氣系統檢查

• 緊固感應線圈的連接螺栓，檢查有無局部過熱或氧化（氧化層需用砂紙打磨）。

• 測試加熱元件的電阻值（如石墨加熱體電阻變化超過10%需更換）。

• 機械部件潤滑

• 對導軌、傳動絲杠等涂抹高溫潤滑脂（如Molykote HP-300）。

• 真空泵維護

• 旋片式真空泵：每3個月更換一次油（如Ultra-Grade 100），并清洗油過濾器。

• 羅茨泵：檢查齒輪油位，每年更換一次。

季度/年度保養

• 真空檢漏

• 使用氦質譜檢漏儀或保壓測試（關閉泵后，1小時內壓升率應＜0.5 Pa/h）。

• 重點檢查法蘭密封面、電極引入端等部位。

• 更換易損件

• 密封圈（每年或發現裂紋時更換）、隔熱屏（如石墨或鉬屏，每2年檢查氧化程度）。

• 校準儀表

• 校驗熱電偶（如C型熱電偶偏差＞5℃需更換）、真空計（如皮拉尼規管）